高真空镀碳仪可快速抽真空进行镀膜处理，处理周期约10分钟。对原料要求非常简单，常见的自动铅笔芯就可作为镀碳仪原料。每次镀碳使用一个铅笔芯，操作非常简单。主要适用于扫描电子显微（SEM）和X射线微观分析等表征工作前的镀碳处理。
1、连接电源并打开主机（POWER）。
2、等绿灯亮后，再等3~5分钟再调节电压（4V）和时间（6s）。
3、打开主机背面的小开关，调整转速在3~4档，并设定电压和时间。
4、打开测厚仪并使其归零。
5、按START键开始喷碳。
6、实验结束先停止设备转动，并先关掉设备背面小开关。
7、再关POWER。
8、关机后打开玻璃罩上盖，等其降到实温之后再将其盖好。
关机顺序：
1、关高真空表头、关分子泵。
2、待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。
3、到50以下时，再关维持泵。
使用后的必要维护
1、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境，滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外，因为从滑阀泵排出的气体含有很多微小的油雾会污染被镀的工件，严重影响膜层的质量。
2、平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中。
3、经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂。
4、定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元器件。
5、定期清洁真空室并尽量抹干，每次都彻底洗干净，以免造成越来越难洗的现象。烘干后再镀膜，头一炉应比原来延长四倍时间才镀膜。
6、定期更换扩散泵油，更换真空泵及罗茨泵油。更换扩散泵油前一定要确认真空度是否低于1X102Pa，扩散泵里面的油温是否彻底冷却到常温状态后，方可进行加热或充大气进行拆卸，否则会产生伤害人的严重后果。